MEMS麦克风及其制造方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种MEMS麦克风及其制造方法，在振膜的锚区固定部的内边缘或振动部的外边缘上形成防接触部，该防接触部包括限位凸起、限位柱和限位挡板中的至少一种，能够有效防止由于振膜的振动部在振动时与锚区固定部发生卡位或搭接的问题，提高器件性能。
基本信息
专利标题 ：
MEMS麦克风及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114339507A
申请号 ：
CN202210229246.0
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2022-03-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
闾新明徐希锐
申请人 ：
绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号
代理机构 ：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹廷廷
优先权 ：
CN202210229246.0
主分类号 ：
H04R1/08
IPC分类号 ：
H04R1/08 H04R19/04 H04R31/00
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H04R 1/08
申请日 : 20220310
申请日 : 20220310
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
