硅基麦克风及其制造方法
授权
摘要
本发明提供了一种硅基麦克风，包括具有背腔的硅基底以及设置在所述硅基底上方的振膜和背板，所述振膜包括内振膜以及位于所述内振膜外周且与所述内振膜间隔设置的外振膜，其特征在于，所述背板包括与所述外振膜固定连接的背板支持体、由背板支持体支撑且位于所述背腔上方的背板中间体以及自所述背板中间体朝所述振膜方向延伸出的抵御柱，当所述振膜振动时，所述外振膜可产生形变而与所述抵御柱相抵触。本发明的硅基麦克风具有外振膜在大声压作用下不易破裂的优点。
基本信息
专利标题 ：
硅基麦克风及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112689229A
申请号 ：
CN202011589462.3
公开（公告）日 ：
2021-04-20
申请日 ：
2020-12-29
授权号 ：
CN112689229B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
钟晓辉王琳琳屠兰兰
申请人 ：
瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研大楼A座
代理机构 ：
深圳紫藤知识产权代理有限公司
代理人 ：
远明
优先权 ：
CN202011589462.3
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04 H04R19/00 H04R31/00 H04R7/04 H04R7/16
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2021-05-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H04R 19/04
申请日 : 20201229
申请日 : 20201229
2021-04-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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