固传导MEMS麦克风的封装结构、制造方法及移动终端
授权
摘要

公开了一种固传导MEMS麦克风的封装结构、制造方法及移动终端,该封装结构,包括:基板;支撑件,位于基板上,支撑件的侧壁底部与基板通过连接材料机械相连,支撑件与基板之间形成空腔,支撑件和/或基板上设置有进音孔;芯片,芯片位于空腔中,芯片通过装片材料与基板机械连接,芯片与基板通过引线实现电连接,芯片包括MEMS芯片;密封件,位于支撑件和/或基板上,用于封闭进音孔,连接材料、装片材料和密封件为耐高温材料。本发明实施例的封装结构,实现在固传导MEMS麦克风回流焊过程中,固传导MEMS麦克风的密封腔体封装结构保持密封状态。

基本信息
专利标题 :
固传导MEMS麦克风的封装结构、制造方法及移动终端
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111510835A
申请号 :
CN202010483568.9
公开(公告)日 :
2020-08-07
申请日 :
2020-06-01
授权号 :
CN111510835B
授权日 :
2022-04-15
发明人 :
于艳阳朱翠芳刘新华万蔡辛
申请人 :
无锡韦尔半导体有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市新吴区菱湖大道111号无锡软件园天鹅座C栋5层
代理机构 :
北京成创同维知识产权代理有限公司
代理人 :
蔡纯
优先权 :
CN202010483568.9
主分类号 :
H04R19/00
IPC分类号 :
H04R19/00  H04R19/04  H04R31/00  H04M1/03  
法律状态
2022-04-15 :
授权
2021-10-19 :
著录事项变更
IPC(主分类) : H04R 19/00
变更事项 : 申请人
变更前 : 无锡韦尔半导体有限公司
变更后 : 无锡韦感半导体有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道111号无锡软件园天鹅座C栋5层
变更后 : 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道111号无锡软件园天鹅座C栋5层
2020-09-01 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H04R 19/00
申请日 : 20200601
2020-08-07 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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