含有有机刚性笼状化合物的底部抗反射涂料组合物及其制备方法...
实质审查的生效
摘要
本发明属于光刻胶领域，涉及一种底部抗反射涂层组合物及其制备方法和微电子结构的形成方法。所述底部抗反射涂层组合物中含有改性刚性有机笼状化合物Ⅰ和Ⅱ以及有机溶剂；所述改性刚性有机笼状化合物Ⅰ和Ⅱ分别为将刚性有机笼状化合物中的部分酚羟基修饰转化为修饰基团以及乙烯基醚基团所得的化合物，所述修饰基团的通式为‑O‑R1，R1为生色基团、酸不稳定基团、酸性基团或非功能性基团。本发明提供的底部抗反射涂层组合物在加热交联后既不溶于有机溶剂，也不溶于光刻胶碱性显影液，但在酸存在下曝光后可被解交联，使得曝光部分可被碱性显影液除去，而非曝光部分未除去，可减少显影后底部抗反射涂层的残留。
基本信息
专利标题 ：
含有有机刚性笼状化合物的底部抗反射涂料组合物及其制备方法和微电子结构的形成方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114517043A
申请号 ：
CN202210102205.5
公开（公告）日 ：
2022-05-20
申请日 ：
2022-01-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
毛鸿超李禾禾王静肖楠宋里千
申请人 ：
福建泓光半导体材料有限公司
申请人地址 ：
福建省漳州市高新区九湖镇林前村林前773号
代理机构 ：
厦门荔信律和知识产权代理有限公司
代理人 ：
赖秀华
优先权 ：
CN202210102205.5
主分类号 ：
C09D161/14
IPC分类号 ：
C09D161/14 C09D7/63 C08G8/28 G03F7/09 G03F7/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09D
涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用（化妆品入A61K，一般将液体或其他流动物料涂到表面上的方法入B05D；木材着色入B27K5/02；釉料或搪瓷釉入C03C；天然树脂、虫胶清漆、干性油、催干剂、松节油本身入C09F；除虫胶清漆外的抛光组合物、滑雪屐蜡入C09G；黏合剂或用作黏合剂的物质入C09J；用于接头或盖的密封或包装材料入C09K3/10；用于防止泄漏的材料入C09K3/12；电解或电泳生成镀层的方
C09D161/00
基于醛或酮的缩聚物的涂料组合物；基于此种聚合物的衍生物的涂料组合物
C09D161/04
只是醛或酮与酚的缩聚物
C09D161/06
醛与酚的
C09D161/14
改性的酚-醛缩合物
法律状态
2022-06-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C09D 161/14
申请日 : 20220127
申请日 : 20220127
2022-05-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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