本发明涉及一种气体距离测量系统传感数据处理方法，属于传感技术领域。该方法将三个与测量系统获取的传感器电阻值最接近的标定电阻值及其所对应的标定气体浓度值作为计算气体浓度值的有效气体浓度‑电阻传感特性标定数据；在各标定浓度值下，将三个与测量系统获取的传感器阻抗值最接近的标定阻抗值及其所对应的标定距离值作为有效距离‑阻抗传感特性标定数据，进而得到各标定气体浓度值下与传感器阻抗值相对应的距离值。将所述距离值与其所对应的标定气体浓度值作为有效气体浓度‑距离特性标定数据，进而用阻抗值得到距离值。用本发明提出的方法能实现气体浓度和距离的同时测量，特别适用于现代工业设备狭小曲面层间气体和距离测量等领域。