本发明属于碳化硅加工技术领域，尤其是一种用于碳化硅加工的单面抛光机，针对现有的碳化硅抛光装置无法对碳化硅进行预加工的技术问题，现提出以下方案，包括预处理箱、一号安装盘和二号安装盘，所述一号安装盘靠近二号安装盘的一侧设置有多个，所述的输出端贯穿一号安装盘，所述的输出端于相邻两个一号安装盘之间连接有外接电源，所述外接电源的输出端连接有等离子发生器，所述等离子发生器远离外接电源的一端连接有等离子喷头，所述相邻两个所述一号安装盘的相对一侧设置有多个连接块。本发明结构科学，能够通过预加工将待加工工件多余的部分去除，进而缩短精加工程序时间，以此保护待加工工件内部的物理性能，提高成品率。