一种自动修调环形基板电阻的装置及操作方法
公开
摘要
本发明公开了一种自动修调环形基板电阻的装置及操作方法，通过在承片板上装载环形基板，在修调机原有承片台的带动下将环形基板运送至工作位，下压探针卡至第一组电阻，修调第一组电阻后探针卡装校台抬起探针卡，信号灯灭，分度信号传感器将灯灭的信号作为旋转承片台的旋转信号发送给CPU，CPU控制环形基板的第二组电阻转至修调第一组电阻位置，信号灯亮，下压探针卡至第二组电阻，修调第二组电阻直至修调完15组电阻，修调机原有承片台带动环形基板退出，光电漫反射传感器将采集到的信号作为旋转承片台的复位信号发送给CPU，CPU控制旋转承片台恢复至初始位置，实现环形基板电阻的自动修调，在半导体混合集成电路领域具有应用前景。
基本信息
专利标题 ：
一种自动修调环形基板电阻的装置及操作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114566340A
申请号 ：
CN202210163688.X
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-02-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨小爱袁忠文袁海王博哲王明琼汪元嘉吴少华
申请人 ：
西安微电子技术研究所
申请人地址 ：
陕西省西安市雁塔区太白南路198号
代理机构 ：
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 ：
白文佳
优先权 ：
CN202210163688.X
主分类号 ：
H01C17/22
IPC分类号 ：
H01C17/22 G01D5/34
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01C
电阻器
H01C17/00
制造电阻器的专用设备或方法
H01C17/22
适用于微调的
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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