一种高效太阳能电池用旋转陶瓷靶材
公开
摘要
本发明公开了一种高效太阳能电池用旋转陶瓷靶材,所述陶瓷靶材的组份为97‑98wt%的氧化铟以及0.5‑2wt%的氧化锡和1‑2.5wt%的掺杂氧化物;所述掺杂氧化物为氧化钛、氧化钨、氧化钼、氧化锆、氧化铈、氧化硅中的3‑5种。本发明采用多元素的掺杂并配合特定的烧结温度制度,可有效实现较高的靶材密度,改善连续溅射过程中靶材表面产生节瘤的问题。本发明可有效提高薄膜在红外波段的透光率,进而提高太阳能电池红外波段的光电转换能力。
基本信息
专利标题 :
一种高效太阳能电池用旋转陶瓷靶材
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114620996A
申请号 :
CN202210165564.5
公开(公告)日 :
2022-06-14
申请日 :
2022-02-23
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
马超宁许积文黄誓成孟红波姚远侯远欣
申请人 :
洛阳晶联光电材料有限责任公司;桂林电子科技大学
申请人地址 :
河南省洛阳市空港产业集聚区隆华大道66号
代理机构 :
桂林文必达专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
白洪
优先权 :
CN202210165564.5
主分类号 :
C04B35/01
IPC分类号 :
C04B35/01 C04B35/453 C04B35/622 C04B35/63 C23C14/08 C23C14/35 C03C17/00 C03C17/245
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C04
水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料
C04B
石灰;氧化镁;矿渣;水泥;其组合物,例如:砂浆、混凝土或类似的建筑材料;人造石;陶瓷;耐火材料;天然石的处理
C04B35/00
以成分为特征的陶瓷成型制品;陶瓷组合物;准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末
C04B35/01
以氧化物为基料的
法律状态
2022-06-14 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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