一种陶瓷旋转靶材的浸润处理装置

授权

摘要

本实用新型涉及一种陶瓷旋转靶材的浸润处理装置，所述浸润处理装置包括加热器、超声处理器及支撑平台；所述支撑平台的底座上表面设置有第一限位装置和第二限位装置；所述第一限位装置和第二限位装置平行设置；所述加热器设置于所述第一限位装置和第二限位装置之间。本实用新型提供的装置保证旋转靶材表面受热温度均匀，提高靶材表面浸润效果，为后续旋转靶材与背管有效绑定结合提供保障，提高绑定结合率，同时可以对靶材在操作过程中质量进行有效管控。

基本信息

专利标题：

一种陶瓷旋转靶材的浸润处理装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020456137.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-01

授权号：

CN212169287U

授权日：

2020-12-18

发明人：

姚力军潘杰边逸军王学泽祝龙飞

申请人：

宁波江丰电子材料股份有限公司

申请人地址：

浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司

代理人：

王岩

优先权：

CN202020456137.9

主分类号：

B23K3/08

IPC分类号：

B23K3/08