一种柔性热敏传感器及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种柔性热敏传感器及其制备方法，所述柔性热敏传感器包括柔性衬底、位于衬底上的二硒化钯(PdSe2)热敏薄膜、金属电极及聚合物封装钝化膜。所述制备方法具体步骤为：在柔性衬底上直接生长或者转移一层二硒化钯薄膜，二硒化钯通过等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)硒化制备而成，在二硒化钯上镀金属电极，使用聚合物膜封装。本发明的优点是低温兼容柔性基底，工艺简洁，易于集成，便于大规模生产高灵敏性柔性热阻型热敏传感器。
基本信息
专利标题 ：
一种柔性热敏传感器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114544024A
申请号 ：
CN202210165881.7
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-02-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李春张锐兰长勇林杰刘力文
申请人 ：
电子科技大学
申请人地址 ：
四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210165881.7
主分类号 ：
G01K7/22
IPC分类号 ：
G01K7/22 C23C14/35 C23C14/24 C23C14/14 C23C14/58 C23C14/04 C23C16/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01K
温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件
G01K7/08
被测物体本身构成热电材料之一，例如，尖端型的
G01K7/16
利用电阻元件
G01K7/22
元件为非线性电阻，例如，热敏电阻
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01K 7/22
申请日 : 20220221
申请日 : 20220221
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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