温补型谐振器
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种温补型谐振器，包括压电基底(1)、多个叉指电极(2)、以及温度补偿层(3)，所述叉指电极(2)的一部分埋入所述压电基底(1)，所述叉指电极(2)的除了埋入所述压电基底(1)的部分以外的其他部分被所述温度补偿层(3)覆盖。由此，通过采用本发明的结构，从而能够在使得温补型谐振器获取良好的频率温度系数TCF值的同时抑制压电基底(1)与温度补偿层(3)的界面处的应力集中。
基本信息
专利标题 ：
温补型谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114531130A
申请号 ：
CN202210166503.0
公开（公告）日 ：
2022-05-24
申请日 ：
2022-02-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
许欣赵超
申请人 ：
广东广纳芯科技有限公司;广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院
申请人地址 ：
广东省广州市黄埔区（中新广州知识城）亿创街1号607房
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
宋俊寅
优先权 ：
CN202210166503.0
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H03H9/25
法律状态
2022-06-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/02
申请日 : 20220223
申请日 : 20220223
2022-05-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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