用于全视场抽样检测的二面角反射镜折转光学系统
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摘要

本发明公开了一种用于全视场抽样检测的二面角反射镜折转光学系统包括用于将待测光束折转出待测件的第一反射镜、用于将相对光轴发散的待测光束折转为相对光轴汇聚光束且对应除中央视场点外的特征采样视场点设置的二面角反射镜组、成像接收镜头以及配合成像接收镜头的相机,其中二面角反射镜组包括第二反射镜和第三反射镜,第二反射镜和第三反射镜之间夹角θ22=(θ1030)/2,θ10为待测光束主光线与光轴Z的夹角,θ30为经折转后待测光束主光线与光轴Z的夹角。本发明二面角反射镜模组在折转光线偏折角度时不会引入色差及其他像差,同时具有对装调不敏感,成本低的优势。

基本信息
专利标题 :
用于全视场抽样检测的二面角反射镜折转光学系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114235357A
申请号 :
CN202210174333.0
公开(公告)日 :
2022-03-25
申请日 :
2022-02-25
授权号 :
CN114235357B
授权日 :
2022-06-07
发明人 :
梁思远周威何姜武鹏飞葛建媛吴昊
申请人 :
茂莱(南京)仪器有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市江宁开发区铺岗街398号
代理机构 :
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
张婧
优先权 :
CN202210174333.0
主分类号 :
G01M11/02
IPC分类号 :
G01M11/02  G02B17/06  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2022-06-07 :
授权
2022-04-12 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 11/02
申请日 : 20220225
2022-03-25 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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