一种位移机构的位移标定方法及装置
公开
摘要
本申请提供了一种位移机构的位移标定方法及装置，包括：确定预先设置的电机步数向量集合；控制电机按照电机步数向量集合中的各步数向量依次进行运动，在电机每运动一个步数向量时，获取测微计采集到的位移测量值；针对每个步数向量，根据该步数向量对应的位移测量值和中点位移向量，确定该步数向量对应的滑块的位移标定值；根据每个步数向量以及与各步数向量对应的位移标定值，建立多个步数向量与多个位移标定值之间的映射关系，以完成对位移机构的位移标定。本申请通过预先对位移标定机构进行位移标定，有助于消除电机回隙造成的定位误差，以提高位移机构的定位精度。
基本信息
专利标题 ：
一种位移机构的位移标定方法及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114578788A
申请号 ：
CN202210200008.7
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-03-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李欢武震王东海魏祥英张天奇李星辰高爱梅
申请人 ：
北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区泰河三街1号
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
高燕
优先权 ：
CN202210200008.7
主分类号 ：
G05B23/02
IPC分类号 ：
G05B23/02 G01R31/34
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05B
一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置
G05B23/02
•电检验式监视
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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