本发明提供一种基于电子背散射衍射花样的晶面衍射衬度的成像方法，包括如下步骤：将待检样品表面抛光后置于扫描电镜的样品台上，样品台倾转60°‑70°，并设置电子背散射衍射分析的最佳工作距离；在经抛光的待检样品表面采集电子背散射衍射花样信号；将采集得到的衍射花样逐一导入至Matlab程序中，通过傅里叶变换、高斯低通滤波、反傅里叶变化降噪；通过霍夫变换识别菊池带中心线；逐一提取、线性叠加每一条衍射花样中心线所对应衍射花样中图像像素点，即晶面所对应的衍射花样上像素点灰度值；依据任意晶面可收集一组衍射花样上像素点灰度值，依据电子背散射衍射采集面分布图像x\y坐标，输出该晶面衍射衬度图像。