钕铁硼颗粒连续复合镀膜装置及对钕铁硼晶界深度调控的方法
授权
摘要
本发明公开了一种钕铁硼颗粒连续复合镀膜装置及对钕铁硼晶界深度调控的方法,涉及烧结钕铁硼制造领域。该装置包括进料系统、镀膜系统、出料系统、直流偏压电源、冷却系统和抽真空系统。镀膜室内部包括反溅清洗区和溅射镀膜区。颗粒通过布料斗均匀布置在电磁振动布料工作台上进行反溅清洗,之后运动到磁控溅射镀膜工作台上进行多靶材连续复合磁控溅射镀膜。出料室内的集料斗收集颗粒并导入旋转冷却滚筒进行冷却,调整布料斗尺寸以调整颗粒粉料厚度,调整电磁振动角以调整粉料行进速度,调整溅射电流来调整靶材的沉降速率,进而控制颗粒表面的膜层厚度。该方法可对烧结钕铁硼进行深度高效的晶界调控,改善了磁体性能、耐腐蚀性和机械特性。
基本信息
专利标题 :
钕铁硼颗粒连续复合镀膜装置及对钕铁硼晶界深度调控的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114284057A
申请号 :
CN202210217798.X
公开(公告)日 :
2022-04-05
申请日 :
2022-03-08
授权号 :
CN114284057B
授权日 :
2022-06-07
发明人 :
张葆华何欢杨连圣郭敬东张敏刚韩志明赵亚利董文董永安赵菁
申请人 :
山西金山磁材有限公司
申请人地址 :
山西省太原市不锈钢工业园区钢园北路37号
代理机构 :
太原科卫专利事务所(普通合伙)
代理人 :
侯小幸
优先权 :
CN202210217798.X
主分类号 :
H01F41/02
IPC分类号 :
H01F41/02 H01F41/18 H01F41/30 H01F1/057
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01F
磁体;电感;变压器;磁性材料的选择
H01F41/00
专用于制造或装配磁体、电感器或变压器的设备或方法;专用于制造磁性材料的设备或方法
H01F41/02
用于制造磁芯、线圈或磁体的
法律状态
2022-06-07 :
授权
2022-04-22 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01F 41/02
申请日 : 20220308
申请日 : 20220308
2022-04-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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