本发明公开了一种用于伺服系统误差高精度补偿的数据采集方法，属于运动机构标校领域，采用X光对标记物进行成像并计算基准标记中心，采用基于变化率的逐次逼近方法移动载物台水平位置，使基准标记中心位于探测器成像中心，记录载物台高度、探测器倾斜角度、探测器旋转角度以及移动后的载物台水平位置坐标；本发明采用基于变化率的逐次逼近方法，通过三或四次水平移动可使基准标记和视野中心重合；采用多个基准标记进行分段采集数据，兼顾高放大比和低放大比；本发明数据采集效率高、采集的数据可用于基于五轴运动平台的X射线检测装置的伺服系统误差高精度补偿中。