工件表面检测方法及应用其工件表面检测方法的系统
公开
摘要
本发明公开一种工件表面检测方法及应用其工件表面检测方法的系统。工件表面检测方法包括以下步骤。首先，提供待测物第一环境，第一环境的第一环境温度高于第一环境的第一环境相对湿度所对应的第一饱和温度。然后，提供待测物第二环境，第二环境的第二环境温度低于第一环境温度，以使待测物的本身温度降低至可雾化温度。然后，提供待测物雾化环境，雾化环境的雾化环境相对湿度所对应的雾化饱和温度等于或高于可雾化温度，以雾化待测物的表面。然后，检测待测物雾化后的表面。
基本信息
专利标题 ：
工件表面检测方法及应用其工件表面检测方法的系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114624239A
申请号 ：
CN202210236229.X
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2016-11-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
邱威尧洪国峰林毓庭张耿豪
申请人 ：
财团法人工业技术研究院
申请人地址 ：
中国台湾新竹县
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
王锐
优先权 ：
CN202210236229.X
主分类号 ：
G01N21/88
IPC分类号 ：
G01N21/88 G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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