中阶梯光栅金属膜层制备工装及其使用方法
实质审查的生效
摘要

本发明提供一种中阶梯光栅金属膜层制备工装及其使用方法,其中的制备工装包括:连接板,在连接板上开设有安装孔;基底固定架,基底固定架通过连接件固定在安装孔内,光栅基底固定在基底固定架内;水平仪,水平仪置于光栅基底的背面,用于测量光栅基底的镀膜面相对于水平面的倾斜角度;工件盘,工件盘为环形结构,连接板的两端与工件盘之间分别连接有调节螺钉和紧固螺栓,调节螺钉用于将光栅基底的镀膜面调至水平,紧固螺栓用于将连接板的两端与工件盘锁紧。本发明能够在保证中阶梯光栅全口径镀膜的基础上,实现对光栅基底的镀膜面的水平调节,确保金属膜层在镀膜面各区域质量的一致性,从而大幅度缩短中阶梯光栅和复制光栅的制作周期。

基本信息
专利标题 :
中阶梯光栅金属膜层制备工装及其使用方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114488374A
申请号 :
CN202210241220.8
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-03-11
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
糜小涛江思博周敬萱高键翔于宏柱李文昊巴音贺希格江锐徐向宇刘广义刘进文
申请人 :
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;北京科益虹源光电技术有限公司
申请人地址 :
吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
代理机构 :
长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
高一明
优先权 :
CN202210241220.8
主分类号 :
G02B5/18
IPC分类号 :
G02B5/18  G01C9/24  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B5/00
除透镜外的光学元件
G02B5/18
衍射光栅
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 5/18
申请日 : 20220311
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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