本发明公开了一种飞秒光丝干涉直写体光栅/啁啾体光栅制备方法及装置，其特点在于采用飞秒脉冲激光在玻璃内形成的光丝，通过调节聚焦透镜的焦距和激光能量，控制等离子体在玻璃内快速扫描并刻蚀出体光栅或啁啾体光栅结构，装置包括：飞秒脉冲激光器模块、脉冲啁啾管理模块、脉冲时域整形模块、激光分离与干涉模块、玻璃体光栅加工平台模块和相机在线检测模块。本发明与现有技术相比具有集成化装置设计可有效简化体光栅的制造流程，有效降低体光栅制备的成本，为大数值孔径、不同刻线规格、不同玻璃材质的体光栅与啁啾体光栅制造提供新的制备方法。