一种制备不同周期光栅的装置及其使用方法
授权
摘要
本发明公开了一种制备不同周期光栅的装置及其使用方法，涉及微细加工领域，包括：导轨底座、传动轴、承载滑块、PDMS固定盖板、限位侧板。使用时，将光栅PDMS软模板有结构的一面向上固定在装置承载部上，通过调节传动轴使承载滑块向远离固定部的方向移动，拉伸PDMS软模板，从而增大软模板上周期结构的尺寸，在PDMS软模板有结构的一面涂覆固化胶，将基底放在固化胶上，然后通过加热或曝光的方法固化胶体，待胶体固化后再将PDMS软模板剥离，此时在基底上获得所需周期的光栅结构。通过改变软模板拉伸量，可得到不同周期尺寸的光栅结构。本发明装置操作简单，使用方便，能够满足低成本、批量复制不同周期尺寸光栅的要求。
基本信息
专利标题 ：
一种制备不同周期光栅的装置及其使用方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111175870A
申请号 ：
CN201911254102.5
公开（公告）日 ：
2020-05-19
申请日 ：
2019-12-10
授权号 ：
CN111175870B
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
黄玉鹏张登英赵风周张立春邢文强李锦绣李伟任
申请人 ：
鲁东大学
申请人地址 ：
山东省烟台市芝罘区红旗中路186号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201911254102.5
主分类号 ：
G02B5/18
IPC分类号 ：
G02B5/18
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B5/00
除透镜外的光学元件
G02B5/18
衍射光栅
法律状态
2022-05-31 ：
授权
2020-06-12 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 5/18
申请日 : 20191210
申请日 : 20191210
2020-05-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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