二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置
公开
摘要
本发明提供了一种二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置，该二次谐波表征光学系统通过增加耦合联动机构，入射臂在圆弧导轨上滑动时，能够同步带动出射臂在圆弧导轨上耦合联动，使出射臂同步粗调到二次谐波信号的传输光路上，使至少部分的二次谐波信号入射到探测器内。通过增加的反馈调整模块，能够通过观察采样信号是否移动到目标点处，了解到出射光路系统中的探测器是否正好位于二次谐波信号的传输光路上，了解到二次谐波信号是否能全部入射到探测器的探测窗口内，便于后续微调出射臂，将探测器正好调节到二次谐波信号的传输光路上，使二次谐波信号尽量多的被探测器接收，从而提高二次谐波表征精度。
基本信息
专利标题 ：
二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114577729A
申请号 ：
CN202210249196.2
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-03-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王然张喆张昆鹏赵泓达岳嵩王磊李博张学文张紫辰
申请人 ：
中国科学院微电子研究所
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
北京兰亭信通知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵永刚
优先权 ：
CN202210249196.2
主分类号 ：
G01N21/01
IPC分类号 ：
G01N21/01 G01N21/88 G01N21/95
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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