一种用于半球谐振子与电极基板焊接的电极基板固定装置，涉及一种精密装配检测系统。为了解决焊接固定半球谐振子及电极基板无法避免的加热问题引起的装配误差的问题。本发明包括由上至下依次同轴设置的电极基板卡环、加热垫、隔热环、安装盘和固定基座，安装盘包括安装盘基板和多根导电弹簧针，隔热环、加热垫和石英电极基板依次套在多根导电弹簧针上，电极基板卡环固接在安装盘基板上，且电极基板卡环与安装盘基板之间形成容置腔，电极基板卡环与安装盘基板将隔热环、加热垫和石英电极基板卡紧，安装盘基板固接在固定基座上，石英半球谐振子穿过电极基板卡环上的通孔插装在石英电极基板上。本发明主要用于固定电极基板。