一种降低边缘效应的MEMS加速度计
授权
摘要
本发明提供了一种降低边缘效应的MEMS加速度计,包括:固定框架,所述固定框架上设有左质量块和右质量块,所述左质量块上连接左可动梳齿,所述左质量块中部设有左固定锚点,所述左固定锚点上设有左固定梳齿,所述左可动梳齿和左固定梳齿底端均设有底部圆弧槽,所述左可动梳齿和左固定梳齿端部设有梳齿端部圆弧,所述左可动梳齿和左固定梳齿形成配合,所述左质量块和右质量块结构相同,所述左质量块和右质量块中间设有缓冲装置;本发明通过底部圆弧槽和梳齿端部圆弧的设计明显地降低了梳齿之间平板电容的边缘效应,并减弱了加速度计结构应力集中问题,有效地提升了加速度计的可靠性,提高了结构的抗高过载性能和使用寿命。
基本信息
专利标题 :
一种降低边缘效应的MEMS加速度计
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114354976A
申请号 :
CN202210274473.5
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2022-03-21
授权号 :
CN114354976B
授权日 :
2022-05-20
发明人 :
朱玉伦白龙陈首任雷龙海郭雪培
申请人 :
成都华托微纳智能传感科技有限公司
申请人地址 :
四川省成都市中国(四川)自由贸易试验区成都市双流区黄甲街道货运大道868号仓储横一路88号附3号
代理机构 :
成都其知创新专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王沙沙
优先权 :
CN202210274473.5
主分类号 :
G01P15/125
IPC分类号 :
G01P15/125 G01P15/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量;运动的存在或不存在的指示;运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S;核辐射速度的测量入G01T)
G01P15/00
测量加速度;测量减速度;测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/125
应用电容变送器
法律状态
2022-05-20 :
授权
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01P 15/125
申请日 : 20220321
申请日 : 20220321
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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