本发明公开了一种用于弱刚性薄片表面阵列微结构电解加工的工装夹具，其特征在于：包括支承座部件、密封腔部件和阴极部件；支承座部件作为固定底座，且设有供电解液流出的输出通道；密封腔部件用于将待加工件固定于支承座部件的上端，且在位于待加工件的上方位置设有供阴极部件插入的阴极通道，密封腔部件与支承座部件密封连接，且设有与输出通道连通的电解液的输入通道；阴极部件的上端与驱动装置固定连接，阴极部件的下端设有数个单体阴极，单体阴极可插入所述阴极通道，并对待加工件表面进行加工。本发明解决了微结构加工效率低、成本高、损耗重等问题，不产生切削力，提高了工件的精度及性能；阴极可重复使用；阴极部件可按需更换，适应性强。