一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置及其方法
公开
摘要
本发明公开了一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置及其方法,属于玻璃化学蚀刻技术领域。一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置,包括过滤箱、制备罐,还包括:滑动连接在所述过滤箱内壁的框架、支撑杆;喷头,固定连接在所述支撑杆上;过滤网,固定连接在所述框架底部;加热箱,固定安装在所述过滤箱底部;本发明,可在对高铝硅蚀刻液进行调配时,提高混合液混合搅拌的均匀性,以及能够达到对混合液混合搅拌时产生的有害气体进行收集利用,从而减少有害气体的排放,提高了装置的环保效果,并且能够在高铝硅蚀刻液制备完成后对制备罐内壁进行自动冲洗清洁,以及对吸附堵塞在过滤网缝隙内的颗粒物杂质进行反冲洗清理。
基本信息
专利标题 :
一种激光蚀刻工艺的高铝硅玻璃蚀刻液制备装置及其方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114602348A
申请号 :
CN202210328976.6
公开(公告)日 :
2022-06-10
申请日 :
2022-03-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张云生卢德福郑楚健
申请人 :
深圳市乐苏科技有限公司;广西乐苏科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区石岩街道水田社区三民工业园厂房A栋四层
代理机构 :
深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李晓林
优先权 :
CN202210328976.6
主分类号 :
B01F27/84
IPC分类号 :
B01F27/84 B01F33/40 B01F35/00 B01F35/11 B01F35/12 B01D29/68 B01F23/70
法律状态
2022-06-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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