一种铌酸锂单面抛光片的清洗方法
实质审查的生效
摘要
一种铌酸锂单面抛光片的清洗方法。包括：将铌酸锂晶片进行氟化氢铵浸泡清洗；将晶片进行有机溶剂清洗液超声清洗；将晶片进行去离子水冲洗；将晶片进行双面毛刷刷洗；将晶片进行单面毛刷刷洗，最终可以得到一种碎片率低、洁净度高的铌酸锂晶片。
基本信息
专利标题 ：
一种铌酸锂单面抛光片的清洗方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114472341A
申请号 ：
CN202210407079.4
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-04-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
徐秋峰曹焕沈浩张忠伟钱煜张伟明濮思麒
申请人 ：
天通控股股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市海宁市盐官镇建设路1号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210407079.4
主分类号 ：
B08B3/08
IPC分类号 ：
B08B3/08 B08B3/12 B08B1/00 B08B1/04 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 3/08
申请日 : 20220419
申请日 : 20220419
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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