本申请公开一种阵列微电极及其制备方法和用于制备阵列微电极的超声装置。本申请阵列微电极的制备方法包括的步骤有：将流体组合物置于绝缘载体中，绝缘载体含有腔体，流体组合物盛装在腔体中；在流体相对的两侧施加超声波，并在流体组合物中形成驻波声压场，使得电极颗粒材料趋向性运动到声压力节点处；将电极颗粒材料趋向性运动到声压力节点处的流体组合物进行固化处理，得到阵列微电极。本申请超声装置包括用于盛装流体组合物的绝缘载体和向流体组合物提供超声的超声波发生单元。