一种改善金属盐中毒效应的MEMS硫化氢传感器及制备方法
公开
摘要
本发明公开了一种改善金属盐中毒效应的MEMS硫化氢传感器及制备方法，涉及基于有机/无机复合纳米材料的硫化氢传感器技术领域，以解决现有抗中毒型硫化氢气体传感器的制备存在高耗能或合成工艺复杂的技术问题。传感器包括衬底、叉指电极以及附着于叉指电极表面的酸性聚合物/金属盐复合敏感膜。本发明的复合敏感膜内含的氢离子一方面与金属离子形成竞争掺杂影响敏感材料的导电能力，即在硫化氢氛围中金属离子脱掺杂与氢离子替补掺杂共同促进敏感膜自身的导电性，导致传感器电阻下降；另一方面在传感器恢复过程中提供酸性环境以在空气环境下促进金属硫化物在空气中重新转化成金属盐，使传感器恢复初始状态。
基本信息
专利标题 ：
一种改善金属盐中毒效应的MEMS硫化氢传感器及制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114577864A
申请号 ：
CN202210495837.2
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-05-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
太金水罗定路
申请人 ：
成都晟铎传感技术有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市高新区天辰路88号1栋1层12号
代理机构 ：
成都弘毅天承知识产权代理有限公司
代理人 ：
聂红霞
优先权 ：
CN202210495837.2
主分类号 ：
G01N27/12
IPC分类号 ：
G01N27/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/04
通过测试电阻
G01N27/12
与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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