高分辨率深能级瞬态谱仪的设置方法及仪器
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
属于半导体深能级谱的测量仪器，本发明提出了高分辨率组合率窗系列，设计了多种方案的高分辨率组合率窗讯号处理仪，以及用此处理仪而得到的高分辨率深能级瞬态(电容)谱仪等多种高分辨率深能级谱仪，本发明仪器所得实验谱线与已有相比，显著地提高了分辨率，本发明可形成一代新的深能级瞬态谱仪。
基本信息
专利标题 ：
高分辨率深能级瞬态谱仪的设置方法及仪器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN85100447A
申请号 ：
CN85100447.4
公开（公告）日 ：
1986-10-01
申请日 ：
1985-04-03
授权号 ：
CN1003471B
授权日 ：
1989-03-01
发明人 ：
孙勤生
申请人 ：
南京大学
申请人地址 ：
江苏省南京市汉口路南京大学科研处
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN85100447.4
主分类号 ：
G01N27/22
IPC分类号 ：
G01N27/22 H01L21/66
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/22
通过测试电容量
法律状态
1995-05-24 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1990-07-04 ：
授权
1989-03-01 ：
审定
1986-10-01 ：
公开
1985-10-10 ：
实质审查请求
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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