处理制造电子器件所产生的废气的装置
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明涉及对电子元件生产中产生的废气产物进行处理的一个方法。废气由某种惰性气体抽吸出来，与经过预加热的氧化气体完全混合，并在足够的温度下保持充分长时间的接触以完成焚化，再通过热交换冷却氧化生成物至凝结，然后收集固态的氧化物，洗涤残存气体，并沿气流形成递减的压降。本发明还涉及实现上述方法的一种焚化装置。
基本信息
专利标题 ：
处理制造电子器件所产生的废气的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1030129A
申请号 ：
CN88102703.0
公开（公告）日 ：
1989-01-04
申请日 ：
1988-05-10
授权号 ：
CN1021122C
授权日 ：
1993-06-09
发明人 ：
拉芬·丹尼斯平漱立男
申请人 ：
液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
申请人地址 ：
法国巴黎
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人 ：
张卫民
优先权 ：
CN88102703.0
主分类号 ：
F23G7/06
IPC分类号 ：
F23G7/06
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F23
燃烧设备；燃烧方法
F23G
焚化炉；废物或低品位燃料的焚毁
F23G
焚化炉；废物或低品位燃料的焚毁
F23G7/00
专门适用于焚烧特殊废物或低品位燃料
F23G7/06
处理废气或秽气的，例如排气
法律状态
2003-07-02 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
2002-04-24 ：
其他有关事项
1993-06-09 ：
授权
1990-07-18 ：
实质审查请求
1989-01-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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