氮化硼坩埚及其制造方法
专利权的终止
摘要
一种具有一个封闭端，一个开口端，一个内表面和一个外表面的一氮化硼坩埚，其特征是至少有一部分外表面优选为靠近坩埚开口端上有包括一层热解石墨衬层和一层热解一氮化硼外层的双涂层。还公开了一种用于制造该一氮化硼坩埚的方法。
基本信息
专利标题 ：
氮化硼坩埚及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1058091A
申请号 ：
CN91104641.0
公开（公告）日 ：
1992-01-22
申请日 ：
1991-06-05
授权号 ：
CN1037701C
授权日 ：
1998-03-11
发明人 ：
Ｒ·Ｊ·芬尼克尔
申请人 ：
联合碳化涂料服务技术公司
申请人地址 ：
美国康涅狄格州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
吴大建
优先权 ：
CN91104641.0
主分类号 ：
C23C16/34
IPC分类号 ：
C23C16/34 C23C14/24 C04B35/38
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/30
沉积化合物、混合物或固溶体，例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C16/34
氮化物
法律状态
2011-07-20 ：
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101088508015
IPC(主分类) : C23C 16/34
专利号 : ZL911046410
申请日 : 19910605
授权公告日 : 19980311
期满终止日期 : 20110605
号牌文件序号 : 101088508015
IPC(主分类) : C23C 16/34
专利号 : ZL911046410
申请日 : 19910605
授权公告日 : 19980311
期满终止日期 : 20110605
2002-06-12 ：
其他有关事项
1998-03-11 ：
授权
1993-06-16 ：
实质审查请求的生效
1992-01-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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