工具和形成工具基体涂层的方法
著录项目变更
摘要
本发明涉及一个在基体上沉积多层表面层构成的工具，而表面层由硬质材料构成；还涉及一气相的沉积方法。为实现一个尽可能大的直至30μm的总厚度以及有利的单层增长速度而建议该表面层由多层涂层构成，它们是通过一个发热CVD方法和一个辉光放电激活的CDV方法(PCVD)以交替顺序沉积的。
基本信息
专利标题 ：
工具和形成工具基体涂层的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1104263A
申请号 ：
CN93112711.4
公开（公告）日 ：
1995-06-28
申请日 ：
1993-12-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
亨德雷克斯·V·D·波格尤多·凯尼格雷尔夫·坦伯斯克
申请人 ：
克鲁伯·韦狄亚有限公司
申请人地址 ：
联邦德国埃森
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
曾祥凌
优先权 ：
CN93112711.4
主分类号 ：
C23C16/30
IPC分类号 ：
C23C16/30 C23C16/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/30
沉积化合物、混合物或固溶体，例如硼化物、碳化物、氮化物
法律状态
1996-02-28 ：
著录项目变更
变更事项 : 申请人
变更前 : 克鲁伯·韦亚有限公司
变更后 : 韦狄亚有限公司
变更前 : 克鲁伯·韦亚有限公司
变更后 : 韦狄亚有限公司
1995-06-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN1104263A.PDF
PDF下载
