半导体元件与聚合光波导元件相集成的方法和电-光器件
专利申请的视为撤回
摘要

本发明涉及制作电-光器件的方法,它包括把半导体元件与聚合光波导元件相集成。根据本发明,借助外延分离(ELO)获得的半导体元件被嵌在波导器件中,该器件除了聚合光波导结构之外还包括适当的空腔。本发明还涉及可用ELO技术得到的集成电-光器件。特别地,它涉及一种集成电-光器件,其中聚合波导元件和半导体元件被集成在一个基片上,该基片是用与半导体元件不同的材料,最好是诸如硅之类的具有良好散热性的材料制成的。

基本信息
专利标题 :
半导体元件与聚合光波导元件相集成的方法和电-光器件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1094817A
申请号 :
CN94102932.8
公开(公告)日 :
1994-11-09
申请日 :
1994-03-18
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
德·道贝莱尔彼得·马丁·西里尔范·代勒彼得·保罗
申请人 :
阿克佐诺贝尔公司
申请人地址 :
荷兰阿纳姆
代理机构 :
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 :
姜华
优先权 :
CN94102932.8
主分类号 :
G02B6/12
IPC分类号 :
G02B6/12  H01L27/14  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B6/00
光导;包含光导和其他光学元件的装置的结构零部件
G02B6/10
光波导式的
G02B6/12
集成光路类型
法律状态
2000-09-06 :
专利申请的视为撤回
1996-05-15 :
实质审查请求的生效
1994-11-09 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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