本发明公开了一种集成波导互连装置及其制备方法，包括：金属波导组件，包括第一本体和容纳在所述第一本体中的金属波导；以及集成波导，包括第二本体，所述第二本体由多层利用陶瓷工艺制成的基板堆叠形成，所述第二本体内形成空气波导，所述空气波导的传输方向与所述金属波导的传输方向具有大于零度的夹角；其中，在所述第二本体内还形成空气互连波导，所述空气互连波导连通所述空气波导和所述金属波导，所述空气互连波导内设有由多层所述基板中的至少两层中间基板形成的阶梯部，使得所述空气互连波导在传输方向上具有大致相等的匹配阻抗。