光学波导及其制备方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要

本发明公开了制备光学波导的方法。光学波导包括以下石英为主要成份的芯体和上、下包层。各层采用火焰水解法淀积玻璃精细颗粒并使其玻璃化来形成。该方法瞬态增加向火焰燃烧器的供磷量,以抑制芯体附近产生外来物。本方法的特征是在淀积玻璃精细颗粒层后进行玻璃化,并多次重复火焰水解工艺和玻璃化步骤,多层玻璃膜的厚度均小于10μm。本发明能抑制不均匀的玻璃化膜,并能使包层中的磷浓度均匀,从而减小传输损耗。

基本信息
专利标题 :
光学波导及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1092178A
申请号 :
CN94100627.1
公开(公告)日 :
1994-09-14
申请日 :
1994-01-13
授权号 :
CN1088522C
授权日 :
2002-07-31
发明人 :
广濑智财金森弘雄浦野章石川真二相川晴彦斋藤真秀向后隆司
申请人 :
住友电气工业株式会社
申请人地址 :
日本大阪
代理机构 :
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 :
王以平
优先权 :
CN94100627.1
主分类号 :
G02B6/12
IPC分类号 :
G02B6/12  C03B37/018  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B6/00
光导;包含光导和其他光学元件的装置的结构零部件
G02B6/10
光波导式的
G02B6/12
集成光路类型
法律状态
2005-03-16 :
专利权的终止未缴年费专利权终止
2002-07-31 :
授权
1995-06-07 :
实质审查请求的生效
1994-09-14 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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