本发明实施例公开了一种衍射光波导器件及其制备方法。其中制备方法包括：提供一光波导基板，光波导基板包括第一光栅区域，光波导基板的第一光栅区域包括至少两个折射率不同的光栅子区域，每个光栅子区域内的折射率相同，且每个光栅子区域对应一次光线耦合输出；在第一光栅区域形成第一光栅结构，第一光栅结构位于光波导基板的一侧，第一光栅结构用于耦合输出所述光波导基板内的光线，第一光栅结构的栅线的高度相同。本发明实施例提供的制备方法制备的衍射光波导器件的光栅高度一致，通过不同区域的介质的折射率不同来调节出光的均匀性，降低了光栅加工难度，极大地降低了衍射光波导器件的制备成本。