一种悬浮脊形波导结构及其制备方法
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摘要
提供一种悬浮脊形波导结构，该结构包括：脊形波导，其由具有三阶非线性系数的材料构成，该三阶非线性系数大于等于2.7×10‑20m2/W；用于支撑脊形波导的悬浮支撑结构，其材料与脊形波导材料相同，该悬浮支撑结构连接该脊形波导，并且在材料外延方向上的高度小于脊形波导的高度；孔洞结构，其位于悬浮支撑结构中；以及衬底，其连接悬浮支撑结构；其中，脊形波导是通过外延的方法生长的，以及所述脊形波导和所述悬浮支撑结构被设置为相对于所述衬底悬浮。
基本信息
专利标题 ：
一种悬浮脊形波导结构及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112162349A
申请号 ：
CN202011046761.2
公开（公告）日 ：
2021-01-01
申请日 ：
2020-09-29
授权号 ：
CN112162349B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
王霆丛慧冯琦张建军
申请人 ：
中国科学院物理研究所
申请人地址 ：
北京市海淀区中关村南三街8号
代理机构 ：
北京泛华伟业知识产权代理有限公司
代理人 ：
王勇
优先权 ：
CN202011046761.2
主分类号 ：
G02B6/12
IPC分类号 ：
G02B6/12 G02B6/13 G02B6/136 G02F1/365
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IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B6/00
光导；包含光导和其他光学元件的装置的结构零部件
G02B6/10
光波导式的
G02B6/12
集成光路类型
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2021-01-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 6/12
申请日 : 20200929
申请日 : 20200929
2021-01-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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