聚合物光波导路器件的制造方法
专利权的终止
摘要
本发明提供一种光波导路器件的制造方法,所述方法具有在衬底上设置V型槽的工序;在所述衬底上涂布NV(不挥发成分含量)大于等于35%的埋入聚合物用涂布液,干燥后,除去其他不需要部分,使在所述V型槽内仅残存埋入聚合物的工序;在所述衬底上形成由聚合物构成的光波导路的工序;在所述光波导路的端面位置形成切口的工序;以及除去所述V型槽内和V型槽上的全部聚合物的工序。通过该方法制造光波导路器件时,可以防止芯体和包覆层用聚合物涂布液向邻接的V型槽的开口部方向垂入,防止得到的光波导路的芯体中心处于低于设计值的位置,没有芯体中心偏移的现象。
基本信息
专利标题 :
聚合物光波导路器件的制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101027581A
申请号 :
CN200580009094.8
公开(公告)日 :
2007-08-29
申请日 :
2005-11-01
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
山口正利黑田敏裕金泽稔彦
申请人 :
日立化成工业株式会社
申请人地址 :
日本东京都
代理机构 :
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 :
钟晶
优先权 :
CN200580009094.8
主分类号 :
G02B6/13
IPC分类号 :
G02B6/13 C08G73/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B6/00
光导;包含光导和其他光学元件的装置的结构零部件
G02B6/10
光波导式的
G02B6/12
集成光路类型
G02B6/13
以制作方法为特征的集成光路
法律状态
2016-12-21 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101692970346
IPC(主分类) : G02B 6/13
专利号 : ZL2005800090948
申请日 : 20051101
授权公告日 : 20090624
终止日期 : 20151101
号牌文件序号 : 101692970346
IPC(主分类) : G02B 6/13
专利号 : ZL2005800090948
申请日 : 20051101
授权公告日 : 20090624
终止日期 : 20151101
2009-06-24 :
授权
2007-10-24 :
实质审查的生效
2007-08-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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