本发明提供了一种于复杂形状陶瓷器件或材料制备过程中在其表面原位生长功能性梯度薄膜的技术。本发明的技术方案是在陶瓷粉体或可提供陶瓷组分的有机前体与作为助剂的高分子聚合物的混合物中引入低分子量的有机成膜组分，通过成型、热时效和烧结等工艺过程，在制备得到的陶瓷器件或材料表面实现具有梯度结构功能性薄膜。该方法制备的薄膜致密，厚度可调节于几十到几百纳米，具有与基体结合良好的梯度结构，其化学成分可按表面功能设计要求进行裁剪，尤其适用于具有复杂形状的陶瓷微机电系统(MEMS)器件表面功能化的发展需求，也可用于陶瓷颗粒、微珠、纤维、微管等材料表面的改性与功能化或陶瓷衬底薄膜材料的制备。