整合型干涉扫描方法
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摘要
本发明整合型干涉扫描方法主要是整合VSI、PSI测量各自的优点，而达到没有测量范围限制以及高精确度的特点。尤其是基于VSI测量和PSI测量之间的斜率校正因子、位移校正因子，对VSI、PSI的高度数据数组进行整合计算，干涉扫描系统可仅使用宽频光源即可完成所需的扫描程序，进而降低扫描系统的复杂度与误差。
基本信息
专利标题 ：
整合型干涉扫描方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1963376A
申请号 ：
CN200510115621.5
公开（公告）日 ：
2007-05-16
申请日 ：
2005-11-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
林耀明张维哲张宏彰廖界程
申请人 ：
致茂电子股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾桃园县
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
张敬强
优先权 ：
CN200510115621.5
主分类号 ：
G01B9/023
IPC分类号 ：
G01B9/023 G01B11/24
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
G01B9/021
用全息照相技术的
G01B9/023
用于得出轮廓
法律状态
2009-01-21 ：
授权
2007-07-11 ：
实质审查的生效
2007-05-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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