薄膜体声波滤波装置及制造薄膜体声波滤波装置的方法

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

本发明涉及薄膜BAW滤波装置及用于制造薄膜BAW滤波装置的方法。所述薄膜BAW滤波装置含有至少一个CRF部和至少一个梯形或栅形滤波部，其中所述CRF部含有至少两个耦合的谐振器，所述CRF部和所述梯形或栅形滤波部集成在同一衬底上，从而制成所述薄膜BAW滤波装置。本发明还涉及用于制造薄膜BAW滤波装置的方法，其中包括至少一个CRF部和至少一个梯形或栅形滤波部，所述CRF部含有至少两个耦合的谐振器，所述CRF部和所述梯形或栅形滤波部集成在同一衬底上。

基本信息

专利标题：

薄膜体声波滤波装置及制造薄膜体声波滤波装置的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1808898A

申请号：

CN200510124709.3

公开（公告）日：

2006-07-26

申请日：

2005-11-11

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

G·费廷格尔J·凯蒂拉

申请人：

因芬尼昂技术股份公司

申请人地址：

德国慕尼黑

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

杨凯

优先权：

CN200510124709.3

主分类号：

H03H9/56

IPC分类号：

H03H9/56