基于TSV的阶梯型窄带压电薄膜体声波滤波器
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种基于TSV的阶梯型窄带压电薄膜体声波滤波器，包括硅衬底，硅衬底上设有二氧化硅支撑层，二氧化硅支撑层的上方分布有若干个压电薄膜体声波谐振器。本发明不仅能够有效减少滤波器的体积，同时提高滤波器的性能。
基本信息
专利标题 ：
基于TSV的阶梯型窄带压电薄膜体声波滤波器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114513187A
申请号 ：
CN202111601115.2
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2021-12-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王凤娟张定熙余宁梅杨媛朱樟明尹湘坤
申请人 ：
西安理工大学
申请人地址 ：
陕西省西安市碑林区金花南路5号
代理机构 ：
西安弘理专利事务所
代理人 ：
刘娜
优先权 ：
CN202111601115.2
主分类号 ：
H03H9/54
IPC分类号 ：
H03H9/54 H03H9/205 H03H9/17 H03H9/02
法律状态
2022-06-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/54
申请日 : 20211224
申请日 : 20211224
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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