一种消除刻蚀工艺过程中残余气体的控制方法

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本发明涉及一种消除刻蚀工艺过程中残余气体的控制方法，包括以下步骤：在刻蚀工艺步骤结束时，关闭气体总阀门(V5)和各气体分阀门(V11～V77)；此时硅片正在传送，打开干泵阀门(V9)；利用干泵对气体总阀门(V5)和各气体分阀门(V11～V77)之间的管路进行残气抽除；延续5～10s后，关闭干泵及干泵阀门(V9)。本发明的方法通过控制干泵阀门的开闭及干泵的启动/停止，在硅片传送的同时进行残气抽除，可以节省用分子泵抽净残气的时间，大幅提高设备的生产率。

基本信息

专利标题：

一种消除刻蚀工艺过程中残余气体的控制方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1851052A

申请号：

CN200510126380.4

公开（公告）日：

2006-10-25

申请日：

2005-12-08

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

唐果

申请人：

北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

申请人地址：

100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：

蔡世英

优先权：

CN200510126380.4

主分类号：

C23F4/04

IPC分类号：

C23F4/04 H01L21/3065

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23F

非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理

C23F4/00

不包含在C23F1/00或C23F3/00组中的表面除去金属材料的工艺

C23F4/04

物理溶蚀法

法律状态

2018-08-17 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

IPC(主分类) : C23F 4/04
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
变更后 : 北京北方华创微电子装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
变更后 : 100176 北京经济技术开发区文昌大道8号

2008-03-26 ：

授权

2006-12-20 ：

实质审查的生效

2006-10-25 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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