化学机械研磨颗粒、浆料及其制造方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
一种化学机械研磨颗粒、浆料及其制造方法，将有机纳米颗粒置入含纳米级氧化铈的反应溶液，由颗粒间的静电吸引力，组装纳米级氧化铈于有机纳米颗粒表面，以形成具有二氧化铈壳层的化学机械研磨颗粒，并以此组成化学机械研磨浆料。
基本信息
专利标题 ：
化学机械研磨颗粒、浆料及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1982400A
申请号 ：
CN200510134470.8
公开（公告）日 ：
2007-06-20
申请日 ：
2005-12-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
金光祖詹舒斐刘旭娟蔡明莳
申请人 ：
财团法人工业技术研究院
申请人地址 ：
台湾省新竹县
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
周长兴
优先权 ：
CN200510134470.8
主分类号 ：
C09K3/14
IPC分类号 ：
C09K3/14
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09K
不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用
C09K3/00
不包含在其他类目中的材料
C09K3/14
防滑材料；研磨材料
法律状态
2009-04-22 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-08-15 ：
实质审查的生效
2007-06-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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