基板输送装置
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摘要
一种基板输送装置，具有：可以从盒子(CS)搬出基板(W)的盒子侧输送机(3)；可以向对上述基板(W)实施加工的加工装置供给上述基板(W)的加工侧移载手(5)；以及可以在上述盒子侧输送机(3)和上述加工侧移载手(5)之间交接上述基板(W)的基板交接装置(7)。
基本信息
专利标题 ：
基板输送装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101035725A
申请号 ：
CN200580033840.7
公开（公告）日 ：
2007-09-12
申请日 ：
2005-10-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
平田贤辅村山晋
申请人 ：
石川岛播磨重工业株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
张敬强
优先权 ：
CN200580033840.7
主分类号 ：
B65G1/00
IPC分类号 ：
B65G1/00 B65G49/06
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G1/00
在仓库或库房内贮存单个的或顺序布置的物件
法律状态
2011-04-20 ：
授权
2008-05-28 ：
实质审查的生效
2007-09-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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