基板输送装置

授权

摘要

本发明提供一种基板输送装置，是以直立多个基板的方式进行连续输送，所述装置包括一驱动装置、一输送轨道以及多个磁球。驱动装置包含一致动器以及经所述致动器带动旋转的至少一个第一螺杆与至少一个第二螺杆，其中每个第一螺杆的位置相对于每个第二螺杆的位置，使基板的输送路径位在第一与第二螺杆之间。输送轨道设有夹持基板用的多个夹具，且所述输送轨道往所述输送路径的方向移动。磁球则设置于每个第一螺杆内与每个第二螺杆内，以通过每个第一螺杆内的磁球对每个第二螺杆内的磁球之间的磁吸力或磁斥力稳定被直立输送的基板。

基本信息

专利标题：

基板输送装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112744596A

申请号：

CN201911054015.5

公开（公告）日：

2021-05-04

申请日：

2019-10-31

授权号：

CN112744596B

授权日：

2022-06-07

发明人：

林文彬

申请人：

联策科技股份有限公司

申请人地址：

中国台湾桃园市桃园区龙寿街81巷10号

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司

代理人：

罗英

优先权：

CN201911054015.5

主分类号：

B65G54/02

IPC分类号：

B65G54/02 B65G49/06