基板输送装置
授权
摘要
本实用新型提供一种基板输送装置,以直立多个基板的方式进行连续输送,所述装置包括气压控制单元、输送轨道以及至少一个第一螺杆与至少一个第二螺杆。输送轨道设有夹持基板用的多个夹具,且输送轨道往输送路径的方向移动。每个第一螺杆的位置相对于每个第二螺杆的位置,使基板的输送路径介于第一与第二螺杆之间。第一螺杆内与第二螺杆内设置有多个气孔。气压控制单元通过第一螺杆内与第二螺杆内的多个气孔对多个基板两侧进行抽气或喷气,以稳定被直立输送的多个基板。本实用新型的基板输送装置,能在直立输送基板的过程中保持基板的位置,以避免基板受外力影响偏移而导致基板互相碰撞受损。
基本信息
专利标题 :
基板输送装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921797364.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-24
授权号 :
CN211337934U
授权日 :
2020-08-25
发明人 :
林文彬
申请人 :
联策科技股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾桃园市桃园区龙寿街81巷10号
代理机构 :
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 :
罗英
优先权 :
CN201921797364.1
主分类号 :
B65G49/06
IPC分类号 :
B65G49/06 B65G51/02
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G49/00
其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统
B65G49/05
用于易碎或易损的物料或物件
B65G49/06
用于易碎薄板,如玻璃
法律状态
2020-08-25 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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