基板输送装置

专利权的终止

摘要

本发明提供一种基板输送装置，将被处理基板放在臂部件上，对基板处理部进行基板的送入送出，即使是大型被处理基板，也能利用设置于臂部件上的吸附垫片来可靠地吸附基板面，不会使基板松动来可靠地保持。基板输送装置(41)包括具有多个吸附垫片(56)的臂部件(51)，将被处理基板(G)放置在吸附垫片(56)上，对基板处理部进行被处理基板(G)的送入送出，其具有使吸附垫片(56)振动的振动设备；驱动振动设备的振动驱动设备(57)；和进行振动驱动设备(57)工作控制的控制设备(58)，在将被处理基板(G)放置在吸附垫片(56)上时，控制设备(58)由振动驱动设备(57)使振动设备工作，而使吸附垫片(56)振动。

基本信息

专利标题：

基板输送装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1754796A

申请号：

CN200510107959.6

公开（公告）日：

2006-04-05

申请日：

2005-09-30

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

田上真也

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本国东京都

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

优先权：

CN200510107959.6

主分类号：

B65G49/07

IPC分类号：

B65G49/07 H01L21/68