基板输送装置以及基板吸附装置
授权
摘要
本申请提供一种基板输送装置以及基板吸附装置，能够不使基板产生褶皱而顺畅地输送基板。基板输送装置(1)吸附并输送基板，具备：吸附部(10)，能够在与基板(F)接近以及分离的方向上变形；以及驱动机构(20)，使吸附部(10)变形以使得吸附部(10)从中央部朝向两端部依次与基板(F)接近。另外，吸附部(10)在从中央部朝向两端部的方向上被划分为多个区域(10A～10I)，驱动机构(20)具有独立地驱动吸附部(10)的各区域的多个驱动部(200)。
基本信息
专利标题 ：
基板输送装置以及基板吸附装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110092196A
申请号 ：
CN201910043236.6
公开（公告）日 ：
2019-08-06
申请日 ：
2019-01-17
授权号 ：
CN110092196B
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
西尾仁孝高松生芳上野勉
申请人 ：
三星钻石工业股份有限公司
申请人地址 ：
日本大阪
代理机构 ：
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
玉昌峰
优先权 ：
CN201910043236.6
主分类号 ：
B65G49/06
IPC分类号 ：
B65G49/06 B65G47/91 C03B33/03
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G49/00
其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统
B65G49/05
用于易碎或易损的物料或物件
B65G49/06
用于易碎薄板，如玻璃
法律状态
2022-04-08 ：
授权
2020-12-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B65G 49/06
申请日 : 20190117
申请日 : 20190117
2019-08-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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