追踪方法及设备
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
一种追踪方法，其中通过在预定的扫描方向上相对于追踪面移动空间光学调制装置来执行追踪操作。空间光学调制装置包括许多追踪元件，用以根据依据追踪信息传送的控制信号调制输入光。所述方法使空间光学调制装置可快速执行所述调制以减少追踪时间。特定的调制装置被分成多个区块A至D，用于各区块A至D的控制信号被并行传送到区块。
基本信息
专利标题 ：
追踪方法及设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101052920A
申请号 ：
CN200580035332.2
公开（公告）日 ：
2007-10-10
申请日 ：
2005-10-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
尾崎多可雄冈崎洋二
申请人 ：
富士胶片株式会社
申请人地址 ：
日本国东京都
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
张成新
优先权 ：
CN200580035332.2
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 G03B27/32 H01L21/027
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2009-10-21 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-12-12 ：
实质审查的生效
2007-10-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN101052920A.PDF
PDF下载
